杂质检测仍在光学薄膜的光谱

光学性能的涂料用于大功率DUV / VUV激光应用在其他取决于残余薄膜的吸收层由于杂质或缺陷。我们展示的高潜力的激光诱导荧光检测特定吸收物种即使在光学薄膜的体积小互动。

方法

使用脉冲ArF激光诱导荧光测量(生活),non-intrinsic镨的排放特点,铈和碳氢化合物中确定fluoridic单一层硅基质CaF和高反射镜₂基板。镨,额外的直接使用IPHT的盖子和绝对吸收测量技术(激光诱导偏转)显示的影响不同的杂质含量高的吸收反射镜。

为研究激光诱导荧光光学薄膜在激光激发脉冲ArF (l = 193海里)设置应用包括以下组件:

• ArF-Laser复杂(相干)
• 成像光谱仪三叶草sr - 303 - i - b使用光栅150和1200 l / l /毫米毫米
• 和或iStar ICCD探测器DH740i-18F-03与控制器
• 光纤耦合
• 特定的过滤器来阻止分散ArF激光干涉

激光诱导荧光测量(生活)是一种常见的方式敏感检测少量的缺陷或杂质等几家媒体的散装材料、液体或气体。在薄膜社区,然而,人生如果测量到目前为止很少用于调查。这可能是因为之间的体积非常小的互动激发激光和薄膜,因此预期非常微弱的荧光信号。另一方面,缺陷密度薄膜由于制造过程预计将超过相应的散装材料。

图1:荧光光谱的LaF3单层(厚度:50海里)与一个ArF激光激发后在193海里

图1显示了ArF激光兴奋生活谱(H = 15 mJ / cm2, f = 10 Hz)为单一LaF3只有50 nm厚层沉积到硅晶片。硅片为衬底材料的选择,因为它已经证明了硅没有显示在193 nm激发荧光。因此,所有检测到的荧光来源于沉积薄膜。频谱使用记录10µs持续时间。生活光谱包含两个高峰在250 nm和270 nm,双峰值和280 nm和310 nm之间广泛峰周围430海里小峰在400海里。从报告数据在文献中观察到的排放可能是由于三价镨的痕迹(250 nm、270 nm和400 nm),三价铈(285 nm和305 nm)和碳氢化合物(430海里)。

图2):比较250和270海里镨荧光的几个高反射(人力资源)镜子193纳米的应用程序

生活调查的一个主要目标是直接测量吸收数据关联特定缺陷或杂质,以获得更好的理解光学涂层中的残余吸收。图2显示了生活的几个高反射光谱(人力资源)涂料(LaF的为193 nm设计应用程序,组合₃和MgF₂在波长范围指示不同数量的镨240…280海里。对于这些比较测量光谱的录制时间是1µs考虑镨发射的荧光寿命。

图2 b)直接测量吸收人力资源的镜子镨内容的函数(任意单位)从生活测量

图2 b显示了不同的人力资源涂料的吸收数据的函数镨内容(任意单位)。除了从一个样本(M6),另外一个主要Ce3 +荧光,有一个相当好的公关之间的相关性^{3 +}荧光强度和测量吸收。作为结论,剩余数量的镨时需要考虑的一个因素优化人力资源的吸收涂层的193纳米的应用程序。

确认

这个注意的信息和数据都心存感激——基督教Muhlig博士提供的光子技术研究所的汽车集团。耶拿。